雙級旋片真空泵的工作原理和適用特點分析
瀏覽次數：4647發(fā)布日期：2023-03-02
雙級旋片真空泵由兩個工作室組成，兩室前后串聯，同向等速旋轉；一般流程中被抽氣體由進氣口進入高真空級，經過高真空級壓縮后再經通道進入到低真空級再度進行壓縮；但在抽氣剛開始時，一般情況下真空室的壓力本身較高，被抽氣體經過高真空級壓縮后因增幅過大會早早達到排氣壓力，此時壓縮氣體會由輔助排氣閥排出一部分，另外一部分繼續(xù)進入低真空級進行壓縮排放；抽到一定程度后，進氣壓力變小，這時經過高真空級壓縮后的氣體壓力會低于輔助排氣閥的開啟壓力，這時輔助排氣閥就會關閉，氣體會全部經通道進入低真空級壓縮后排出。
雙級旋片真空泵的特點；
l、該泵是抽除氣體的基本設備之一，它可單獨使用，也可與增壓泵、擴散泵、分子泵等超高真空泵連接在一起作為前級泵使用，廣泛用于電子器件制造、真空干燥、過濾、浸漬、涂膜、焊接、冶煉及實驗室裝備等。
2、真空泵在環(huán)境溫度5℃～40℃范圍內，進氣口壓強小于10托的條件下，允許長期運轉，被抽氣體相對溫度大于90%時，應開氣鎮(zhèn)閥。
3、真空泵進氣口連續(xù)敝通大氣運轉不得超過3分鐘.
4、真空泵不適用于抽除對金屬有腐蝕的、對泵油起化學反應的、含有顆粒塵埃的氣體，以及含氧過高的、爆炸性的、有毒的氣體。
雙級旋片真空泵主要由泵體、轉子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片泵的腔內偏心地安裝一個轉子，轉子外圓與泵腔內表面相切（二者有很小的間隙），轉子槽內裝有帶彈簧的二個旋片，將定子分隔成兩個工作腔（高、低級工作腔），旋轉時，雙級旋片式真空泵靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內壁保持接觸，轉子旋轉帶動旋片沿泵腔內壁滑動，使得高級工作腔容積周期性擴大而吸氣，低級工作腔容積周期性縮小而壓縮氣體，借助氣體和油的壓力推開排氣閥排氣，從而獲得真空。當吸入壓力較高時（例如從大氣壓開始吸氣），氣體在高級腔被壓縮，壓力急增，則被壓縮的氣體的一部分直接從輔助排氣閥排出，另一部分氣體經壓縮后通過中壁內的級間通道進入低級腔，再次壓縮后從低級排氣閥排出，此時高低級腔同時排氣；當吸入壓強較低時（例如泵工作一段時間之后），氣體由吸氣口進入高級腔，氣體在高級腔內壓縮所產生的壓力不足以推開輔助排氣閥而直接通過級間通道進入低級工作腔，再次壓縮后從低級排氣閥排出。
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